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우주/항공/반도체

반도체 웨이퍼 히터

  • 01

    균일성

    • 발열 면적에 대한 Uniformity 향상
  • 02

    에너지 효율

    • 목표 온도에 도달하는 승온 속도가 빠르며 이로 인하여 전력 소모량 감소
  • 03

    Localization Pattern Design

    • 온도에 대한 요구사항이 다른 각각 ZONE으로 설계 가능
  • 04

    Customer Type

    • 장비 교체없이 Install 부품에 직접 인쇄 가능